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 Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface TiN氧化对Al/TiN界面稳定性的影响
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期刊：Journal of applied physics 作者：G. Gagnon; S. C. Gujrathi; Mario Caron; J. F. Currie; Yves Tremblay; et al 出版日期：1996-07-01 |
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