Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface

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标题	Effect of the oxidation of TiN on the stability of the Al/TiN interface TiN氧化对Al/TiN界面稳定性的影响相关领域扩散阻挡层锡烧结材料科学扩散合金氧气氮化物基质（水族馆）金属冶金氮化钛化学工程复合材料化学图层（电子）热力学物理工程类地质学海洋学有机化学
网址	https://doi.org/10.1063/1.362804
DOI	10.1063/1.362804 doi
其它	期刊：Journal of applied physics 作者：G. Gagnon; S. C. Gujrathi; Mario Caron; J. F. Currie; Yves Tremblay; et al 出版日期：1996-07-01
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