Two-dimensional measurement of resonance in MEMS resonators using stroboscopic differential interference contrast microscopy

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标题	Two-dimensional measurement of resonance in MEMS resonators using stroboscopic differential interference contrast microscopy 利用频闪微分干涉对比显微镜二维测量MEMS谐振器的共振相关领域谐振器光学微分干涉显微术显微镜材料科学频闪仪微电子机械系统共振（粒子物理）光电子学物理粒子物理学
网址	https://doi.org/10.1364/oe.460769
DOI	10.1364/oe.460769 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Mirai Iimori; Ya Zhang 出版日期：2022-07-05
求助人	动听的芷蕾在 2024-08-15 15:04:59 发布自北京，悬赏 10 积分
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