Dopant Analysis of SiC MOSFET with Scanning Probe Technique

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标题	Dopant Analysis of SiC MOSFET with Scanning Probe Technique 用扫描探针技术分析SiC MOSFET的掺杂相关领域掺杂剂 MOSFET 材料科学光电子学碳化硅宽禁带半导体兴奋剂电气工程复合材料工程类晶体管电压
网址	https://doi.org/10.1109/ipfa61654.2024.10691294
DOI	10.1109/ipfa61654.2024.10691294 doi
其它	期刊：作者：Ting Zhang; Yan Liu; Anli Yang; Yupu Wang; Ke Xiao; et al 出版日期：2024-07-15
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