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 Investigation on chemical mechanical polishing of Ga-faced GaN crystal with weak alkaline slurry 弱碱浆化学机械抛光Ga面GaN晶体的研究
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期刊：Applied Surface Science 作者：Qiubo Li; Lei Liu; Jiaoxian Yu; Shouzhi Wang; Guodong Wang; et al 出版日期：2024-04-01 |
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