标题 |
Study of Lanthanum Diffusion in HfO2-Based High-k Gate Stack
HfO2基高k栅堆叠中镧扩散的研究
相关领域
材料科学
退火(玻璃)
锡
镧
结晶
工作职能
分析化学(期刊)
MOSFET
光电子学
电子工程
冶金
纳米技术
电气工程
图层(电子)
晶体管
电压
化学工程
化学
无机化学
色谱法
工程类
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DOI | |
其它 |
期刊:Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者:Meng Zhu; Balaji Kannan; Yibin Zhang; Manasa Medikonda; Yifan Liang; et al 出版日期:2018-04-13 |
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