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 Mechanical effect of abrasives on silicon surface in chemo-mechanical grinding 化学机械研磨中研磨剂对硅表面的机械效应
相关领域
硅
材料科学
研磨
冶金
复合材料
曲面（拓扑）
几何学
数学
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| 其它 |
期刊：International Journal of Mechanical Sciences 作者：Zhang Yu; Renke Kang; Jiawei Ren; Hongye Lang; Shang Gao 出版日期：2023-06-01 |
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