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HfO2/SiO2/Si界面氧空位漏电流的第一性原理研究
相关领域
氧气
电介质
高-κ电介质
材料科学
泄漏(经济)
电子
活化能
凝聚态物理
光电子学
化学
物理化学
量子力学
物理
宏观经济学
经济
有机化学
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