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On Step-and-Scan Trajectories used in Wafer Scanners in Semiconductor Manufacturing
半导体制造中晶圆扫描仪的步进扫描轨迹研究
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期刊:2021 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS) 作者:Yazan M. Al-Rawashdeh; Mohammad Al Janaideh; Marcel Heertjes 出版日期:2021-09-27 |
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