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Modeling the precursor utilization in atomic layer deposition on nanostructured materials in fluidized bed reactors
流化床反应器中纳米结构材料原子层沉积中前驱体利用的模拟
相关领域
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期刊:Chemical Engineering Journal 作者:Fabio Grillo; Michiel T. Kreutzer; J. Ruud van Ommen 出版日期:2015-05-01 |
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