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Alumina films as gas barrier layers grown by spatial atomic layer deposition with trimethylaluminum and different oxygen sources
用三甲基铝和不同氧源通过空间原子层沉积生长作为气体阻挡层的氧化铝薄膜
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Sebastian Franke; Matthias Baumkötter; Carsten Monka; Sebastian Raabe; Reinhard Caspary; et al 出版日期:2016-12-01 |
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