| 标题 |
  Study on the Deposition Characteristics of Molybdenum Thin Films Deposited by the Thermal Atomic Layer Deposition Method Using MoO2Cl2 as a Precursor 以MoO2Cl2为前驱体的热原子层沉积法沉积钼薄膜的沉积特性研究
相关领域
材料科学
薄膜
钼
原子层沉积
沉积（地质）
电阻率和电导率
图层（电子）
化学气相沉积
成核
表面粗糙度
钨
燃烧化学气相沉积
化学工程
分析化学（期刊）
碳膜
冶金
纳米技术
复合材料
化学
有机化学
古生物学
工程类
沉积物
电气工程
生物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Coatings 作者：Baek-Ju Lee; Kyu-Beom Lee; Min-ho Cheon; Dongwon Seo; Jae-Wook Choi 出版日期：2023-06-09 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
SYLH
科研小民工
劲秉
昏睡的蟠桃
cdercder
默默地读文献
nozero
back you up
pluto
猪猪hero
山花浪漫
迷人秋烟
子车茗
iNk
121231233
迟大猫
MchemG
实验好难
pcr163
图图
皖公网安备34019202002308
