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 24.2% efficient POLO back junction solar cell with an AlOx/SiNy dielectric stack from an industrial‐scale direct plasma‐enhanced chemical vapor deposition system 来自工业规模直接等离子体增强化学气相沉积系统的具有AlOx/SiNy电介质堆叠的24.2%效率POLO背结太阳能电池
相关领域
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材料科学
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氮化硅
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期刊：Progress in Photovoltaics 作者：Byungsul Min; Verena Mertens; Yevgeniya Larionova; Thomas Pernau; Helge Haverkamp; et al 出版日期：2024-06-06 |
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