Understanding the stress effect of TiN top electrode on ferroelectricity in Hf0.5Zr0.5O2 thin films

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标题	Understanding the stress effect of TiN top electrode on ferroelectricity in Hf0.5Zr0.5O2 thin films 锡顶电极应力对Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜铁电性的影响相关领域铁电性材料科学锡电极压力（语言学）极限抗拉强度复合材料极化（电化学）微晶饱和（图论）电介质冶金光电子学化学语言学哲学数学物理化学组合数学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0176345
DOI	10.1063/5.0176345 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Runhao Han; Peizhen Hong; Zhiwei Bao; Mingkai Bai; Jingwen Hou; et al 出版日期：2023-11-16
求助人	沈家宁在 2024-10-05 15:15:45 发布自福建，悬赏 10 积分
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