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标题
[高分] 书籍（章节） Deep reactive ion etching
硅基MEMS材料与技术手册
相关领域
微电子机械系统 表面微加工 机械工程 材料科学 晶片键合 阳极连接 制造工程 工程物理 直接结合 微系统 薄脆饼 工程类 纳米技术 制作 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1016/b978-0-12-817786-0.00016-5
DOI
10.1016/b978-0-12-817786-0.00016-5 doi
提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1016/c2013-0-19270-7 Doi
其它 期刊：Elsevier eBooks
作者：Franz Laermer; Sami Franssila; Lauri Sainiemi; Kai Kolari
出版日期：2020-01-01
求助人
StevenZhao 在 2024-11-14 13:16:52 发布自湖北，悬赏 50 积分
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