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标题
Buffered Oxide Etchant Post-Treatment of a Silicon Nanofilm for Low-Cost and Performance-Enhanced Chemical Sensors
硅纳米膜的缓冲氧化物蚀刻剂后处理，用于低成本和性能增强的化学传感器
相关领域
材料科学 硅 氧化物 制作 纳米技术 氧化硅 蒸发 氢 化学工程 光电子学 有机化学 化学 冶金 病理 替代医学 工程类 物理 氮化硅 热力学 医学
网址
https://doi.org/10.1021/acsami.0c08977
DOI
10.1021/acsami.0c08977 doi
其它 期刊：ACS Applied Materials & Interfaces
作者：Min Gao; Zhi‐Jun Zhao; Hyeong-Gyun Kim; Ming-Liang Jin; Panpan Li; et al
出版日期：2020-07-27
求助人
文艺清涟 在 2024-11-19 20:14:28 发布自山东，悬赏 10 积分
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