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![]() 通过界面工程和沉积后退火提高具有3位/单元存储能力的后端兼容铁电电容器的可靠性
相关领域
电容器
铁电性
退火(玻璃)
材料科学
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物理
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量子力学
电压
复合材料
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Hao‐Kai Peng; Ting-Chieh Lai; Yu‐Cheng Kao; Chia-Ming Liu; Pin‐Jiun Wu; et al 出版日期:2022-11-04 |
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