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 Design of composite abrasives and substrate materials for chemical mechanical polishing applications 用于化学机械抛光应用的复合磨料和基底材料的设计
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期刊：Applied Nanoscience 作者：Fanning Meng; Zhenyu Zhang; Peili Gao; Tingting Liu; Yash Boyjoo; et al 出版日期：2019-11-07 |
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