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标题
Fabrication of grooved LGS resonators based high temperature SAW sensors and analysis with FEM simulation
基于沟槽LGS谐振器的高温声表面波传感器的制作及有限元仿真分析
相关领域
谐振器 制作 材料科学 有限元法 微电子机械系统 声表面波 基质（水族馆） 光电子学 声学 非线性系统 电子工程 结构工程 工程类 物理 医学 海洋学 替代医学 病理 量子力学 地质学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac88dc
DOI
10.1088/1361-6439/ac88dc doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Qingchuan Shan; Ruchuan Shi; Qilun Zhang; Wenchang Hao; Wei Luo; et al
出版日期：2022-08-11
求助人
归尘 在 2025-04-20 18:07:40 发布自安徽，悬赏 10 积分
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