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标题
Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors
杂化高κ介电材料在二维半导体上的可扩展集成
相关领域
材料科学 半导体 光电子学 电介质 场效应晶体管 二硫化钼 晶体管 纳米技术 原子层沉积 单层 图层(电子) 电压 电气工程 复合材料 工程类
网址
DOI
10.1038/s41563-023-01626-w doi
其它 期刊:Nature Materials
作者:Yi Xu; Teng Li; Kailang Liu; Yinghe Zhao; Lei Liu; et al
出版日期:2023-08-03
求助人
卜化蛹 在 2024-05-06 12:18:14 发布自江西,悬赏 10 积分
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