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 Transverse piezoelectric constant of aluminium nitride films deposited on aluminium substrate by reactive magnetron sputtering 反应磁控溅射铝基氮化铝薄膜的横向压电常数
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期刊：International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics 作者：Daniele Desideri; Enrico Bernardo; Alain Jody Corso; A. Doria; Alvise Maschio; et al 出版日期：2020-09-04 |
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