A unified integrated model for sputter coating uniformity

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标题	A unified integrated model for sputter coating uniformity 溅射镀膜均匀性的统一集成模型相关领域焊剂（冶金）溅射航程（航空）先验与后验涂层统计物理学机械材料科学物理热力学计算物理学化学纳米技术薄膜认识论哲学复合材料冶金
网址	https://doi.org/10.1116/1.576880 AI链接 osti.govdoi.org
DOI	10.1116/1.576880 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：R.S. Upadhye; E.J. Hsieh 出版日期：1990-05-01
求助人	辽东浅墨在 2025-02-12 21:55:43 发布自美国，悬赏 20 积分
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