What You Need to Know for Growth of AlScN Thin Film via Atomic Layer Deposition?

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标题	What You Need to Know for Growth of AlScN Thin Film via Atomic Layer Deposition? 通过原子层沉积生长AlScN薄膜你需要知道什么？相关领域原子层沉积图层（电子）沉积（地质）逐层材料科学薄膜计算机科学光电子学纳米技术工程物理工程类地质学沉积物古生物学
网址	https://doi.org/10.1109/icicdt63592.2024.10717857
DOI	10.1109/icicdt63592.2024.10717857 doi
其它	期刊：作者：Weijing Shao; Miaocheng Zhang; Xinpeng Wang; Han Zhang; Dayu Zhou; et al 出版日期：2024-09-25
求助人	张爱学在 2024-12-23 14:09:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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