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 Stress reduction dependent on incident angles of carbon ions in ultrathin tetrahedral amorphous carbon films 超薄四面体非晶碳膜中碳离子入射角的应力降低
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Shipeng Xu; Xiaowei Li; Meidong Huang; Peiling Ke; Sheng Wang 出版日期：2014-04-07 |
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