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 Thermal conductivity of yttria‐stabilized zirconia thin films grown by plasma‐enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积氧化钇稳定氧化锆薄膜的导热性能
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氧化钇稳定氧化锆
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期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Sung Il Park; Byung Chan Yang; Jihyun Kim; Jaeyoon Ko; Gyung‐Min Choi; et al 出版日期：2023-05-10 |
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