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标题
Optical Characterization of Dynamic CMUTs Using Zygo Optical Profilometers: An Alternative to Laser Doppler Vibrometers
使用Zygo光学轮廓仪对动态CMUTs进行光学表征：激光多普勒振动计的替代方案
相关领域
轮廓仪 光学 干涉测量 材料科学 超声波传感器 多普勒效应 声学 物理 表面光洁度 天文 复合材料
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3524004
DOI
10.1109/jmems.2024.3524004 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Ahmad Elshenety; Meltem Erdem; Mehmet Yılmaz
出版日期：2025-01-01
求助人
JayWu 在 2025-03-19 13:50:20 发布自北京，悬赏 10 积分
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