Influencing factors of self-aligned imaging in near-field lithography for the Fabry-Perot cavity effect

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标题	Influencing factors of self-aligned imaging in near-field lithography for the Fabry-Perot cavity effect 法布里-珀罗腔效应近场光刻自对准成像的影响因素相关领域法布里-珀罗干涉仪平版印刷术光学领域（数学）材料科学光电子学纳米技术物理数学波长纯数学
网址	https://doi.org/10.1364/josab.538952
DOI	10.1364/josab.538952 doi
其它	期刊：Journal of the Optical Society of America B 作者：Dinghai Rui; Libin Zhang; Huwen Ding; Hao Shen; Yayi Wei; et al 出版日期：2024-10-25
求助人	LIU 在 2025-02-11 11:02:06 发布自上海，悬赏 10 积分
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