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标题
Optical position encoder based on four-section diffraction grating
基于四段衍射光栅的光学位置编码器
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DOI
10.1117/12.2264801 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:A. Y. Zherdev; Sergey B. Odinokov; Д. С. Лушников; V. V. Markin; O. A. Gurylev; et al
出版日期:2017-05-15
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ay 在 2024-12-26 22:44:11 发布自北京,悬赏 20 积分
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