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 Characterization of TiNi shape-memory alloy thin films for MEMS applications 微机电系统中TiNi形状记忆合金薄膜的表征
相关领域
材料科学
形状记忆合金
微观结构
钛镍合金
薄膜
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溅射
微电子机械系统
溅射沉积
合金
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Yongqing Fu; Weimin Huang; Hejun Du; Xu Huang; Junping Tan; et al 出版日期：2001-08-01 |
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