| 标题 |
 Low-Hydrogen-Content Silicon Nitride Deposited at Room Temperature by Inductively Coupled Plasma Deposition 室温下电感耦合等离子体沉积低氢氮化硅
相关领域
X射线光电子能谱
感应耦合等离子体
分析化学（期刊）
材料科学
化学气相沉积
分子束外延
电子回旋共振
等离子体增强化学气相沉积
硅
化学
等离子体
光电子学
外延
图层（电子）
纳米技术
离子
化学工程
工程类
有机化学
物理
量子力学
色谱法
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Haiping Zhou; K. Elgaid; C. D. W. Wilkinson; Iain Thayne 出版日期：2006-10-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
哎嘿
不配.
爱静静
kento
丰盛的煎饼
彭于彦祖
西红柿炒番茄
寻道图强
互助遵法尚德
加菲丰丰
好困
OnionJJ
iNk
HEIKU
starofjlu
乐乐乐乐乐乐
竹筏过海
ShowMaker
Cloud
从容芮
皖公网安备34019202002308
