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 Atomic layer deposition of conductive and semiconductive oxides 导电和半导体氧化物的原子层沉积
相关领域
原子层沉积
材料科学
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导电体
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复合材料
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期刊：Applied physics reviews 作者：Bart Macco; W. M. M. Kessels 出版日期：2022-11-23 |
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