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 {111} Facet Formation during Lateral Solid-Phase Epitaxy of Silicon 硅横向固相外延过程中{111}面的形成
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Tomo Ueno; Kenji Kawai; Toru Morisawa; Takahiro Hatano; Yasuo Kunii; et al 出版日期：1992-08-01 |
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