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 Inline coating of silicon nanoparticles in a plasma reactor: Reactor design, simulation and experiment 等离子体反应器中硅纳米粒子的在线包覆：反应器设计、模拟和实验
相关领域
涂层
材料科学
纳米颗粒
硅
化学工程
表面改性
X射线光电子能谱
纳米技术
冶金
工程类
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| 其它 |
期刊：Materials Today Proceedings 作者：Adrian Münzer; Johannes Sellmann; Paolo Fortugno; Andreas Kempf; Christof Schulz; et al 出版日期：2017-01-01 |
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