Gas inlet and input power modulated sputtering molybdenum nitride thin films - 科研通

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标题	Gas inlet and input power modulated sputtering molybdenum nitride thin films 气体入口和输入功率调制溅射氮化钼薄膜相关领域材料科学钼氮化物无定形固体结晶度溅射涂层溅射沉积薄膜微观结构复合材料分析化学（期刊）冶金图层（电子）纳米技术结晶学化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.06.095
DOI	10.1016/j.surfcoat.2017.06.095 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：J.Y. Xiang; Fan‐Bean Wu 出版日期：2017-09-22
求助人	王肄博在 2025-04-24 19:43:35 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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中国科学院上海有机化学研究所联合编辑室

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