Silicon hotplates for metal oxide gas sensor elements

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标题	Silicon hotplates for metal oxide gas sensor elements 金属氧化物气体传感器元件用硅热板相关领域氧化物金属材料科学硅光电子学纳米技术工程物理冶金工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s005420050078
DOI	10.1007/s005420050078 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems 作者：Giorgio Sberveglieri; W. Hellmich; Gerhard Müller 出版日期：1997-08-01
求助人	Hong 在 2023-08-25 09:23:27 发布自广东，悬赏 10 积分
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