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 Highly Selective Silicon Dry Chemical Etch Technique for Advanced FinFET Technology 相关领域
材料科学
硅
光电子学
蚀刻（微加工）
薄脆饼
MOSFET
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| 网址 | |
| DOI |
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| 求助人 |
tanqing 在
2021-11-29 11:49:41 发布，悬赏 10 积分
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