Deep learning assisted fast mask optimization

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标题	Deep learning assisted fast mask optimization 相关领域计算机科学光学接近校正深度学习人工智能扫描仪平版印刷术计算光刻计算机工程光栅图形计算机硬件人工神经网络机器学习卷积神经网络电子工程多重图案抵抗工程类过程（计算）纳米技术材料科学操作系统光电子学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297514
DOI	10.1117/12.2297514 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XXXI 作者：Soichi Owa; Jongwook Kye; Ke Zhao; Yumin Wang; Jun Liu; et al 出版日期：2018
求助人	研友_kngAY8 在 2021-12-19 09:19:00 发布，悬赏 10 积分
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