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 Exfoliation mechanism of AlGaN-based thin films using heated-pressurized water 热压水作用下AlGaN基薄膜的剥离机理
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期刊：Applied physics express 作者：Ryoya Yamada; Eri Matsubara; Ryosuke Kondo; Toma Nishibayashi; Koichi Hattori; et al 出版日期：2023-10-01 |
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