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UV Broadband Antireflection Coating Using Al2O3, HfO2 and SiO2 Multilayer by Atomic Layer Deposition
原子层沉积Al2O3、HfO2和SiO2多层紫外宽带减反射涂层
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期刊:Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022 作者:Qing-Yuan Cai; Ling-Shan Gao; Haihan Luo; Rui Cong; Dingquan Liu 出版日期:2019-01-01 |
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