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 Surface Interaction Effect and Mechanism of Methionine Derivatives as Novel Inhibitors for Alkaline Copper CMP: Insights from Molecular Simulation and Experimental Analysis 蛋氨酸衍生物作为碱性铜CMP新型抑制剂的表面相互作用效应及机理：分子模拟和实验分析
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Ni Zhan; Xinhuan Niu; Jianghao Liu; Yida Zuo; Han Yan; et al 出版日期：2023-08-22 |
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