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Modified Hot-Zone Design for Large Diameter 4H-SiC Single Crystal Growth
大直径4H-SiC单晶生长的改进热区设计
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期刊:Materials Science Forum 作者:Jung Woo Choi; Jung Gyu Kim; Byung Kyu Jang; Sang Ki Ko; Myung Ok Kyun; et al 出版日期:2019-07-01 |
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