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 4H to 3C Polytypic Transformation in Al+ Implanted SiC During High Temperature Annealing Al+注入SiC高温退火过程中4H到3C的多型相变
相关领域
材料科学
成核
退火（玻璃）
外延
透射电子显微镜
化学气相沉积
结晶学
化学物理
纳米技术
复合材料
化学
有机化学
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Electronic Materials Letters 作者：Lydia Kuebler; Eli Hershkovitz; D. Kouzminov; H.‐J. Gossmann; Supakit Charnvanichborikarn; et al 出版日期：2023-12-02 |
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