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 Effects of external parameters on plasma characteristics and uniformity in a dual cylindrical inductively coupled plasma 外部参数对双圆柱电感耦合等离子体特性和均匀性的影响
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期刊：Plasma Science and Technology 作者：Pengyu Wang; Siyu Xing; Daoman Han; Yu‐Ru Zhang; Yong Li; et al 出版日期：2024-08-26 |
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