Lipon thin films grown by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition in a N2–H2–Ar gas mixture

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标题	Lipon thin films grown by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition in a N2–H2–Ar gas mixture N2-H2-Ar混合气体中等离子体增强金属有机化学气相沉积Lipon薄膜相关领域 X射线光电子能谱薄膜分析化学（期刊）无定形固体锂（药物）化学气相沉积材料科学溅射溅射沉积介电谱物理气相沉积电导率化学电化学化学工程电极纳米技术结晶学色谱法医学工程类内分泌学物理化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.08.091
DOI	10.1016/j.tsf.2011.08.091 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Lamartine Meda; Eleston E. Maxie 出版日期：2011-09-01
求助人	半分青蓝在 2024-11-21 09:00:50 发布自河北，悬赏 10 积分
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