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High-Density Patterned Array Bonding through Void-Free Divinyl Siloxane Bis-Benzocyclobutene Bonding Process
通过无空隙二乙烯基硅氧烷双苯并环丁烯键合工艺实现高密度图案化阵列键合
相关领域
苯并环丁烯
材料科学
复合材料
空隙(复合材料)
抗压强度
固化(化学)
化学机械平面化
托尔
聚合物
抛光
热力学
物理
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DOI | |
其它 |
期刊:Polymers 作者:Nam Woon Kim; Hyeonjeong Choe; Muhammad Ali Shah; Duck-Gyu Lee; Shin Hur 出版日期:2021-10-22 |
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