Improvement of n-Type Poly-Si Film Properties by Solid Phase Crystallization Method

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标题	Improvement of n-Type Poly-Si Film Properties by Solid Phase Crystallization Method 固相结晶法改善n型多晶硅薄膜性能相关领域结晶材料科学多晶硅兴奋剂基质（水族馆）粒度微晶薄膜太阳能电池相（物质）硅图层（电子）能量转换效率化学工程分析化学（期刊）光电子学复合材料纳米技术薄膜晶体管化学色谱法冶金有机化学工程类地质学海洋学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.32.3720
DOI	10.1143/jjap.32.3720 doi
其它	期刊：Japanese journal of applied physics 作者：T. Matsuyama; Makoto Tanaka; S. Tsuda; Satoshi Nakano; Yukinori Kuwano 出版日期：1993-09-01
求助人	nico 在 2024-05-24 17:00:21 发布自湖南，悬赏 10 积分
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