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 Ferroelectric Properties of HZO Ferroelectric Capacitors with Various Capping Electrodes and Annealing Conditions 不同封端电极和退火条件下HZO铁电电容器的铁电性能
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期刊：Meeting abstracts 作者：Jun Lin; Yan-Kui Liang; Yu Chen; Zhenhao Li; Tsung-Che Chiang; et al 出版日期：2021-10-01 |
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