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标题
Virtual Metrology for Multistage Processes Using Variational Inference Gaussian Mixture Model and Extreme Learning Machine
基于变分推理高斯混合模型和极限学习机的多级过程虚拟计量
相关领域
计量学 推论 混合模型 高斯过程 计算机科学 机器学习 人工智能 高斯分布 工程类 数学 统计 物理 量子力学
网址
DOI
10.1109/tsm.2024.3392898 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者:Tianhong Pan; Lu Liu; Menghu Li
出版日期:2024-01-01
求助人
dejavu 在 2024-09-26 07:50:46 发布自美国,悬赏 10 积分
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