标题 |
Virtual Metrology for Multistage Processes Using Variational Inference Gaussian Mixture Model and Extreme Learning Machine
基于变分推理高斯混合模型和极限学习机的多级过程虚拟计量
相关领域
计量学
推论
混合模型
高斯过程
计算机科学
机器学习
人工智能
高斯分布
工程类
数学
统计
物理
量子力学
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DOI | |
其它 |
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者:Tianhong Pan; Lu Liu; Menghu Li 出版日期:2024-01-01 |
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