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![]() 台式高次谐波源在反射和透射中的亚波长分辨率、宽视场和定量13nm成像
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期刊: 作者:Christina L. Porter; Michael Tanksalvala; Dennis F. Gardner; Giulia F. Mancini; Michael Gerrity; et al 出版日期:2018-01-01 |
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