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标题
Ultra-shallow p-type doping of silicon by performing atomic layer deposition of Al2O3 thin films onto SiO2/Si
在SiO2/Si上原子层沉积Al2O3薄膜实现硅的超浅p型掺杂
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1039/d4cc04510f
DOI
10.1039/d4cc04510f doi
其它 期刊：Chemical Communications
作者：Salma Khaldi; Prajith Karadan; Krushnamurty Killi; C.E.M. de Oliveira; Roie Yerushalmi
出版日期：2024-01-01
求助人
zye 在 2024-11-12 16:20:00 发布自江苏，悬赏 10 积分
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