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 Positive-tone crosslinked molecular resist based on acid-catalyzed depolymerization 基于酸催化解聚的正性交联分子抗蚀剂
相关领域
解聚
抵抗
甲基异丁基酮
氢氧化铵
化学
四甲基氢氧化铵
分析化学（期刊）
核化学
材料科学
高分子化学
酮
无机化学
有机化学
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Brandon Sharp; Hannah Narcross; Laren M. Tolbert; Clifford L. Henderson 出版日期：2017-11-01 |
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